Ein Lehrbuch zu den grundlegenden Verfahren der Mikroelektronik und Integrationstechniken. Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchf�hrung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen gen�gen m�ssen, um die geforderten Strukturgr��en bis zu wenigen 10 nm gleichm��ig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, �tzschritte und ...
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Ein Lehrbuch zu den grundlegenden Verfahren der Mikroelektronik und Integrationstechniken. Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchf�hrung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen gen�gen m�ssen, um die geforderten Strukturgr��en bis zu wenigen 10 nm gleichm��ig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, �tzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erl�utert. Das Buch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchf�hrung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik. In der 6. Auflage ...
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