Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchfuhrung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genugen mussen, um die geforderten Strukturgrossen bis zu wenigen 10 nm gleichmassig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Atzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur ...
Read More
Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchfuhrung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genugen mussen, um die geforderten Strukturgrossen bis zu wenigen 10 nm gleichmassig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Atzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erlautert. Das Buch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchfuhrung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik. Der 5. Auflage wurde 'Atomic Layer Deposition' hinzugefugt, das Kapitel zur PECVD-Abscheidung wurde erganzt und High-k-Dielektrika in Herstellung und Anwendung wurden zusatzlich eingearbeitet."
Read Less
Choose your shipping method in Checkout. Costs may vary based on destination.
Seller's Description:
Fine. Text in German. Trade paperback (US). Glued binding. 309 p. Contains: Unspecified, Illustrations, black & white, Illustrations, color. Language: German-In Stock. 100% Money Back Guarantee. Brand New, Perfect Condition, allow 4-14 business days for standard shipping. To Alaska, Hawaii, U.S. protectorate, P.O. box, and APO/FPO addresses allow 4-28 business days for Standard shipping. No expedited shipping. All orders placed with expedited shipping will be cancelled. Over 3, 000, 000 happy customers.
Choose your shipping method in Checkout. Costs may vary based on destination.
Seller's Description:
New. Text in German. Trade paperback (US). Glued binding. 309 p. Contains: Unspecified, Illustrations, black & white, Illustrations, color. Language: German-In Stock. 100% Money Back Guarantee. Brand New, Perfect Condition, allow 4-14 business days for standard shipping. To Alaska, Hawaii, U.S. protectorate, P.O. box, and APO/FPO addresses allow 4-28 business days for Standard shipping. No expedited shipping. All orders placed with expedited shipping will be cancelled. Over 3, 000, 000 happy customers.
Choose your shipping method in Checkout. Costs may vary based on destination.
Seller's Description:
Fine. Text in German. Trade paperback (US). Glued binding. 309 p. Contains: Unspecified, Illustrations, black & white, Illustrations, color. Language: German-In Stock. 100% Money Back Guarantee. Brand New, Perfect Condition, allow 4-14 business days for standard shipping. To Alaska, Hawaii, U.S. protectorate, P.O. box, and APO/FPO addresses allow 4-28 business days for Standard shipping. No expedited shipping. All orders placed with expedited shipping will be cancelled. Over 3, 000, 000 happy customers.
Choose your shipping method in Checkout. Costs may vary based on destination.
Seller's Description:
New. Text in German. Trade paperback (US). Glued binding. 309 p. Contains: Unspecified, Illustrations, black & white, Illustrations, color. Language: German-In Stock. 100% Money Back Guarantee. Brand New, Perfect Condition, allow 4-14 business days for standard shipping. To Alaska, Hawaii, U.S. protectorate, P.O. box, and APO/FPO addresses allow 4-28 business days for Standard shipping. No expedited shipping. All orders placed with expedited shipping will be cancelled. Over 3, 000, 000 happy customers.
Choose your shipping method in Checkout. Costs may vary based on destination.
Seller's Description:
New. Print on demand Text in German. Trade paperback (US). Glued binding. 309 p. Contains: Unspecified, Illustrations, black & white, Illustrations, color.
