Das vorliegende Studien skript "Silizium-Halbleitertechnologie" ist aus der Vorlesung "Halbleitertechnologie" entstanden, die erstmalig im Wintersemester 1989/90 von Prof. Dr.-Ing. K. Schumacher an der Universit???t Dortmund gehalten wurde. Um die rasante Entwicklung der Proze???technik ber???cksichtigen zu k???nnen, ist der Inhalt der inzwischen auf zwei Semester ausgedehnten Vorlesung um fortschrittliche Integra- tionstechniken erweitert worden. Ziel dieses Buches ist es, den Studenten der Elektrotechnik, Informatik, ...
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Das vorliegende Studien skript "Silizium-Halbleitertechnologie" ist aus der Vorlesung "Halbleitertechnologie" entstanden, die erstmalig im Wintersemester 1989/90 von Prof. Dr.-Ing. K. Schumacher an der Universit???t Dortmund gehalten wurde. Um die rasante Entwicklung der Proze???technik ber???cksichtigen zu k???nnen, ist der Inhalt der inzwischen auf zwei Semester ausgedehnten Vorlesung um fortschrittliche Integra- tionstechniken erweitert worden. Ziel dieses Buches ist es, den Studenten der Elektrotechnik, Informatik, Physik, aber auch den Schaltungstechnikem und den Ingenieuren in der Proze???technik, die Realisierung und den Aufbau integrierter Schal- tungen zu veranschaulichen. Es umfa???t die Kristallherstellung, die ver- schiedenen Proze???schritte der Planartechnik und die Montagetechnik f???r integrierte Schaltungen. Erg???nzend dazu sind grundlegende weiter- f???hrende Integrationstechniken ber???cksichtigt worden, um dem interes- sierten Leser die Verfahren der H???chstintegration verst???ndlich darlegen zu k???nnen. Die ???bungsaufgaben sollen zur ???berpr???fung des Verst???nd- nisses dienen und gleichzeitig dazu beitragen, die Gr??????enordnungen der verwendeten Parameter absch???tzen zu k???nnen. Eigene Erfahrungen aus der CMOS-Technologielinie des Lehrstuhls Bauelemente der Elektrotechnik / Arbeitsgebiet Mikroelektronik der Universit???t Dortmund runden den Inhalt des Buches ab. An dieser Stelle m???chte ich Herrn Prof. K. Schumacher herzlich f???r die gewissen- hafte Ausarbeitung der Unterlagen zur Vorlesung "Halbleitertechnolo- gie" danken, die als Grundlage f???r dieses Buch dienten. F???r die Durch- sicht der Druckvorlage danke ich Herrn Dipl.-Ing. John T. Horstmann. Mein Dank gilt auch Herrn Prof. K. Goser f???r die M???glichkeit, dieses Buch zu verfassen. Ganz herzlich danke ich meiner Familie f???r ihre Unterst???tzung w???hrend der zeitintensiven Ausarbeitung der Unterlagen.
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