Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt f�r ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender W�rmebehandlung bietet die M�glichkeit, Ni-Al Superlegierungen f�r Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. �ber LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugpr�fk�rper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilit�t gegen plastische Verformung.
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Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt f�r ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender W�rmebehandlung bietet die M�glichkeit, Ni-Al Superlegierungen f�r Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. �ber LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugpr�fk�rper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilit�t gegen plastische Verformung.
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