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Mems and Microsystems: Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering

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Mems and Microsystems: Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering - Hsu, Tai-Ran
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Aktuell und didaktisch ausgereift, bietet der Band Anwendern und fortgeschrittenen Studierenden einen ausgezeichneten Zugang zu den Themenbereichen MEMS und Mikrosysteme. Ber???cksichtigt werden sowohl Aspekte der Elektrik und Elektronik als auch die mechanische Seite der MEMS.

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Mems and Microsystems: Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering 2008, Wiley, Hoboken, NJ

ISBN-13: 9780470083017

2nd edition

Hardcover