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Vacuum Microelectronics - Zhu, Wei (Editor)
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Die st???ndig steigenden Anforderungen an die Mikroelektronik lassen sich zum Teil mit Hilfe von Vakuumtechnologien bew???ltigen: Im Vakuum kann man Bauelemente schneller, mit gr??????erer Reinheit und zuverl???ssiger herstellen und zusammenf???gen. Anwendungsgebiete reichen von der Herstellung integrierter Schaltkreise bis zu neuen Anzeigeger???ten. Das erste Buch zu einem schnell wachsenden Forschungsgebiet!

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Vacuum Microelectronics 2001, Wiley-Interscience, New York, NY

ISBN-13: 9780471322443

Hardcover