En este trabajo de investigaci???n se crecieron pel???culas de nitruro de carbono CNx utilizando un sistema magnetr???n sputtering r.f. (13.6 MHz), sobre sustratos de cloruro de sodio, acero y Silicio (100) a partir de un blanco de carbono pirol???tico (99.999%), utilizando diferentes concentraciones de N2/Ar en la mezcla de gas. La composici???n y los enlaces qu???micos de las pel???culas se estudiaron mediante espectroscopia fotoelectr???nica de rayos - X (XPS) y espectroscop???a de infrarrojo (IR). La morfolog???a ...
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En este trabajo de investigaci???n se crecieron pel???culas de nitruro de carbono CNx utilizando un sistema magnetr???n sputtering r.f. (13.6 MHz), sobre sustratos de cloruro de sodio, acero y Silicio (100) a partir de un blanco de carbono pirol???tico (99.999%), utilizando diferentes concentraciones de N2/Ar en la mezcla de gas. La composici???n y los enlaces qu???micos de las pel???culas se estudiaron mediante espectroscopia fotoelectr???nica de rayos - X (XPS) y espectroscop???a de infrarrojo (IR). La morfolog???a superficial de los recubrimientos se examin??? por microscop???a de fuerza at???mica AFM. La dureza y el modulo de elasticidad de las pel???culas se determinaron a partir de an???lisis de nanoindentaci???n, se midieron durezas de 25 GPa. Los datos experimentales se complementaron con c???lculos te???ricos, utilizando el c???digo de Car-Parrinello Molecular Dynamics (CPMD), este es un c???digo de ondas planas que resuelve ecuaciones de Kon-Sham bajo la aproximaci???n de pseudopotenciales, con ellos se determin??? la estructura cristalina y sus par???metros de red, la estructura de bandas, la vibraci???n de los fonones y algunas constantes el???sticas de la fase BC3N4.
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