Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu erm???glichen, welche sich nicht f???r monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufw???ndige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch f???r gr??????erer St???ckzahlen durch ???bertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formged???chtnislegierung.
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Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu erm???glichen, welche sich nicht f???r monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufw???ndige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch f???r gr??????erer St???ckzahlen durch ???bertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formged???chtnislegierung.
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