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Amorphous Silicon - Tanaka, Kazunobu, and Maruyama, Eiichi, and Shimada, Toshikazu
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Amorphe Festk???rper wie beispielsweise Gl???ser weisen keine geordnete Kristallstruktur auf. Eine bedeutende Rolle spielen derartige Materialien, insbesondere amorphes Silicium, in der Halbleiterindustrie, aus deren Blickwinkel sich die Autoren dieses Buches dem Thema zuwenden. Neben Herstellungsmethoden und strukturellen Aspekten werden beispielsweise elektrische und thermische Eigenschaften, photoinduzierte Effekte und Si-Speziallegierungen besprochen. (12/98)

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Amorphous Silicon 1999, Wiley, Chichester, England

ISBN-13: 9780471982937

Hardcover